演講主題:高科技產業揮發性有機物空氣污染管制及處理現況與案例探討
演講者:工業技術研究院 綠能與環境研究所 環境與安全技術組 沈克鵬 博士
講座主持人:林明俊老師
記錄者:巧心儀
記錄者指導教授:林素霞教授
日期:101.10.08( 15 : 10 ~18 :00 )
現在政府對於環境保護上的法規規定得很嚴格,在高科技產業裡都會有空氣排放、廢水排放,這些都要經過處裡才不會造成環境上的破壞,而這演講者針對了揮發性有機物空氣污染管制及處理現況做了說明探討,讓我了解了含揮發性有機物及無機酸廢棄之排放,是這麼嚴格,訂有排放限值、防制效率要求、防制設備操作條件規範,並要求定期檢測、連續監測、操作條件記載紀錄之申報等等的規定,半導體製造業空氣汙染管制及排放管制對象是半導體業者(積體電路晶圓製造、晶圓封裝、光罩製造、導線架製造等),使用的防治技術包含濕式洗滌、活性碳吸附、沸石轉輪濃縮後焚化、流體化床濃縮後冷凝、蓄熱是焚化、觸媒焚化、直接熱焚化,最重要的是要有適當的處裡技術,正確的硬體規格和適合的操作條件,還有定期的維護,來達到減少污染的排放。